产品用途：
作为一种具有高附加价值的特种电子材料，主要使用在微电子，显示器，存储器以及光学镀膜等产业，用以溅射用于尖端技术的各种薄膜材料。
Application:
As a special electronic material with high added value, it is mainly used in microelectronics, display, memory and optical coating industries to sputter various thin film materials for cutting-edge technology.
产品性能参数/Product Property Parameters：
牌号 Grade
DTa1
DTa2
DTa3
化学成分
Chemical Compositions
（%，不大于/max）
Ta
≥99.95
≥99.99
≥99.995
C
0.01
0.003
0.002
N
0.005
0.005
0.004
H
0.0015
0.0015
0.001
O
0.015
0.01
0.005
Nb
0.02
0.005
0.002
Fe
0.005
0.0005
0.0001
Ti
0.002
0.001
0.0005
W
0.005
0.001
0.001
Mo
0.005
0.001
0.001
Si
0.005
0.001
0.0001
Ni
0.002
0.0001
0.0001
其他性能
Other Properties
平均晶粒尺寸
Average Grain Size
(μm)
≤100um
粗糙度粗糙度
Roughness
(Ra, μm)
Ra0.8-1.2
平面度平面度
Flatness
（mm）
≤0.10％
尺寸Sizes:
形状
Shape
厚度
Thickness（mm）
宽度
Width（mm）
长度
Length（mm）
直径
Diameter（mm）
圆形Round
3-25
-
-
≤450
方形Square
3-25
≤600
≤2000
-
注：如有特殊要求，双方具体商定。
Note: Special requirements will be agreed upon by the supplier and buyer.